【48812】合洁科技电子洁净工程:晶圆净化车间新风系统模块设计的关键要点
来源:星空体育官方 发布时间:2024-07-18 09:05:43晶圆无尘车间的新风系统模块设计至关重要,它直接影响到车间的洁净度、温度、湿度等关键参数,进而影响到晶圆的生产质量和效率。以下是晶圆无尘车间新风系统模块设计的关键要点,具体随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!
宜设在北墙上,避免设在屋顶和西墙上,以减少夏季太阳辐射对进风温度的影响。
进风口底部距室外地面不宜小于两米,当进风口布置在绿化地带时,则不宜小于一米。
应尽量布置在排风口的上风侧,且低于排风口,并尽可能保持不小于10米的间距,以防新风被污染。
宜采用固定百叶窗,多雨地区宜采用防水百叶窗以防雨水进入。为防止鸟类进入,百叶窗内宜设金属网。
系统风压平衡的误差在10%-15%以内时,可以不设调节阀,但通常需设风量调节阀进行调节,以确保风压平衡。
弯管的中心曲率半径不要小于其风管直径或边长,一般可用1.25倍直径或边长。
空调房间并行送排风管时,送排风口最好还是不要并列布置,尽量交错布置,以避免气流短路。
房间内设温度传感器,MAU(新风处理机组)的预热盘管后设温度传感器,送风主管上也设温度传感器。
通过温度传感器控制干盘管电动调节水阀、预热盘管电动调节阀等,维持室内温度在设定值范围。
房间内湿度传感器控制MAU的加湿器的加湿量,以维持室内相对湿度在设定值范围。
综上所述,晶圆无尘车间的新风系统模块设计是一个复杂而精细的过程,需要考虑多种因素,以确保车间的洁净度、温度、湿度等关键参数达到生产规格要求。返回搜狐,查看更加多